1、真空热处理可实现无氧化、无脱碳、无渗碳加热。
2、有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
3、零件经真空热处理后，畸变小，质量高。
4、基本上无公害。
4、真空加热炉可在较高温度下工作。

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、某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗速度较快，省时间，效率较高。
真空热处理具有防氧化的作用。表面不氧化、不脱碳、并有还原除锈作用，省却刀具的粗加工工序，可节约昂贵的刀具钢材和原辅材料的消耗，节省加工时间，降低产品成本；真空热处理具有真空脱气、脱脂作用并无氢脆危险，防止刀具材料难熔金属的表面脆化，使刀具材料表面纯度提高，提高刀具的疲劳强度、塑性和韧性及耐腐蚀性，提高刀具的使用寿命；真空热处理具有淬火变形小，可减少常规淬火变形的校正应力存在，降低刀片使用过程中断裂的可能性，真空热处理刀片的变形为盐浴淬火的－，淬火后一般不需要校正就可精磨加工至成品；真空热处理工艺的稳定性和重复性好。一旦工艺确定，只要输入工艺程序，热处理操作将自动运行。